yjq
发表于 2011-9-14 13:00:36
楼上的朋友，这些方面的碳，怎么减少，说说你们的方法好吗？
bingxuerui
发表于 2011-10-13 06:50:37
要从多个方面多着手的
比如：原料三氯氢硅、氢气、拆装炉过程中保持洁净、硅芯的质量、管道设备维修以后保证管道内的碳含量
︶蔠嚸
发表于 2011-11-5 22:26:37
控制空气纯度
yjq
发表于 2011-11-21 16:42:56
空气纯度？你是不是指取样当中的误差？
wanfer
发表于 2012-10-11 07:54:09
控制H2中的甲烷含量和硅粉中的碳含量
