蓝眼泪 发表于 2011-8-26 16:21:03

三氯氢硅和氢气系统中多晶硅化学气相沉积的数值模拟

三氯氢硅和氢气系统中多晶硅化学气相沉积的数值模拟

页: [1]
查看完整版本: 三氯氢硅和氢气系统中多晶硅化学气相沉积的数值模拟