直拉单晶 棱线 100 向 问题
本帖最后由 ct00 于 2011-9-2 10:56 编辑直拉单晶 棱线问题:
我们公司现在出现一种现象:转肩的时候 三条线向右偏 一条向左偏
放肩时或等径断线时:先三根一起断 再断第四根
或 先断一根 再三根一起断
希望大家讨论一下帮小弟分析一下情况啊 谢谢
断棱跟你转肩时棱线的方向没有关系吧
应该是和原料有很大的关系,查查原料吧 原料的问题,肯定是纯度不够!
还有就是热场系统参数没有设置好!
籽晶引晶的时候扭曲吗,应该是籽晶自身就歪或者原料杂质导致
不排除是籽晶的晶向不是100,而是与100有个角度。 个人觉得卡宴从籽晶的晶向偏差上考虑考虑!!本身问题是很规律的 都是像一个方向偏 要是原料问题就很没规律 片的方向很无次序 与开始的引晶温度、放肩温度及速度、转肩速度有关! 期间晶体有没有摆动啊,我觉得这个分析起来原因还是挺多的!比如跟随比、导流筒、原料硅、仔晶等。 我觉得跟清炉装料和料得纯度关系最大,再就是炉内温度的稳定,曾经试验过,浅谈呵呵
晶体排列有偏差,出现棱线偏这种情况时你可以先换根籽晶试试
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