wannafay 发表于 2012-7-10 19:38:04

PECVD Unif_Flowchart

PECVD的资料


wokaoman 发表于 2012-11-5 17:19:29

是关于气体流量和均匀性关系的吗

kkuklx 发表于 2012-12-18 08:44:28

CVD沉积过程？～
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