yjq 发表于 2010-10-27 15:51:28

三氯氢硅合成炉相关问题

在三氯氢硅合成中，出炉尾气含氯化氢在40%左右，请问是什么原因，如何改善？

jsxzjb 发表于 2010-11-29 10:47:48

与合成炉结构、操作（压差、气速）等因素有关。先清理分布器，调整压差与气速，效果不好就更换合成炉。

yjq 发表于 2011-8-18 13:20:38

请问楼上的朋友，出炉尾气含氯化氢在多少合适呢？
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