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标题: 如何降低三氯氢硅中的碳含量？ [打印本页]

作者: yjq 时间: 2011-8-18 13:22
标题: 如何降低三氯氢硅中的碳含量？
请教大家，如何降低三氯氢硅中的碳含量？

作者: mornred 时间: 2011-8-19 11:36
得从金属硅的生产抓起

作者: yjq 时间: 2011-8-21 09:05
金属硅是一个方面，其它有影响吗？

作者: mornred 时间: 2011-8-21 12:24
氢气\氯气里的碳也得控制

作者: yjq 时间: 2011-8-22 15:01
氢气里有碳吗？怎么没听说过？如果有，怎么处理呢？麻烦4楼的朋友指教

作者: 蓝眼泪 时间: 2011-8-24 09:00
ls用PSA

作者: yjq 时间: 2011-8-26 12:30
是不是阀门、管道会带入碳？

作者: 蓝眼泪 时间: 2011-8-31 08:42
回复 yjq 的帖子

回收氢会有

作者: yjq 时间: 2011-8-31 11:04
是三氯氢硅合成炉之后的氢气回收吧？8楼的朋友，看来，你挺不错，多指点指点。

作者: 蓝眼泪 时间: 2011-9-1 08:46
另外看看原料气的碳含量怎样。

作者: yjq 时间: 2011-9-14 13:00
楼上的朋友，这些方面的碳，怎么减少，说说你们的方法好吗？

作者: bingxuerui 时间: 2011-10-13 06:50
要从多个方面多着手的
比如：原料三氯氢硅、氢气、拆装炉过程中保持洁净、硅芯的质量、管道设备维修以后保证管道内的碳含量

作者: ︶蔠嚸 时间: 2011-11-5 22:26
控制空气纯度

作者: yjq 时间: 2011-11-21 16:42
空气纯度？你是不是指取样当中的误差？

作者: wanfer 时间: 2012-10-11 07:54
控制H2中的甲烷含量和硅粉中的碳含量

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