求教高手！！电池片刻蚀后刻蚀边缘内侧有黑边

doneboy

如果是湿法刻蚀的话这种现象会出现在刚换液后，为药液浓度过大导致，可增加传输速度解决！
如果是干法刻蚀的话为石英坩埚太脏导致，刻蚀机停留呆料时间长再次投入使用如果没维护就会出现刻蚀黑边，经解决方法为用酒精布擦拭石英坩埚后再空泡一遍，即可解决。

doneboy

如果是湿法刻蚀的话这种现象会出现在刚换液后，为药液浓度过大导致，可增加传输速度解决！
如果是干法刻蚀的话为石英坩埚太脏导致，刻蚀机停留呆料时间长再次投入使用如果没维护就会出现刻蚀黑边，经解决方法为用酒精布擦拭石英坩埚后再空泡一遍，即可解决。