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[悬赏咨询] 求教高手！！电池片刻蚀后刻蚀边缘内侧有黑边

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发表于 2011-5-10 01:52:44 | 显示全部楼层

1)如果是部分的硅片有的话，可能是硅片在放入刻蚀机之前没有充分的理齐或者是夹具的材料不好导致
2)如果夹具和准备工作都没问题的话，可以试着调整一下功率参数

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