[技术交流] PECVD镀膜后白斑白点问题

楼主

发表于 2011-9-14 09:27:48 | 显示全部楼层

这种白斑大多都是因为清洗不完全造成的，后清洗如果不注意肉眼很难发现，我遇到很多次了，主要是刻蚀出了问题，酸碱浓度变化了，多排查这方面会有效果的，现在我就很少遇到了……

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