GT450长出的锭子中央有一片黄色的区域

查看数: 17568 | 评论数: 11 | 收藏 0

关灯 | 提示：支持键盘翻页<-左右->

发布时间: 2011-7-19 21:31

我们的GT450，近一段时间出来的锭子中央有一片黄色的区域不知道怎么回事，工艺工程师说是漏气，但炉子检漏不漏，氩气管道也检过漏都正常，哪位师傅能帮帮我啊

99156009@qq.com 发表于 2015-12-18 09:24:05

这个东西还真的不是很懂

daijianjunai 发表于 2012-6-9 10:34:59

我觉得也是漏气造成的，可为什么只集中在中间部位呢？高手解答下

heperionz 发表于 2012-4-25 00:17:11

真空阶段不泄露但单独的管道有可能有问题特别是MFC到炉子那个地方

参与人数 1	能量 +10	收起理由
光谷子	+ 10

央夜未舞 发表于 2012-1-12 16:06:13

我们这也有这种情况！好多种情况可能造成这种干扰的！

barton2004 发表于 2011-11-29 11:15:43

{:soso_e100:}
大家都很专业，应该是氩气不纯，或气管漏气。

candin 发表于 2011-9-10 21:24:04

这种情况一般都是由于炉子漏气，你可以看看顶部的惰性气体的管道。

zhengyangxun 发表于 2011-9-5 12:20:31

硅锭中间黄色区域内还有点泛白，个人感觉应该是氩气不纯造成的；如果只出现这一炉的话就要从其他方面入手了

bxxu0108 发表于 2011-8-24 21:35:25

估计是氩气不纯造成的我们的锭也经常造成这种情况·

参与人数 1	能量 +10	收起理由
光谷子	+ 10	鼓励有意义的热心回复！

xny 发表于 2011-8-16 13:18:59

1、你确定所有检漏都正常吗？
2、检查一下氩气的纯度。
3、最近有用石英棒测过长晶吗？

参与人数 1	能量 +10	收起理由
光谷子	+ 10	鼓励有意义的热心回复！

mornred 发表于 2011-8-1 08:47:43

我们这里GT类型的炉子,都这样

帐号		自动登录	找回密码
密码			立即注册

回复