PECVD镀膜后白斑白点问题

yongjin · 发表于 2014-7-29 09:20:21

墨无文殇发表于 2011-8-4 19:55
昨天做了一整天的实验，加了四个小时的班，终于找到了白斑的起始原因了，高浓度的HF会在硅片表面形成F沉淀 ...

高浓度的HF会在硅片表面形成F沉淀，这是造成白斑的主要原因？拿你们怎么解决呢？？？减少HF浓度？

Jerrychow · 发表于 2015-2-11 09:25:01

你有验证白点的成分是什么吗？板P设备维护周期？是湿法刻蚀吗？

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[技术交流] PECVD镀膜后白斑白点问题