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[技术交流] SiN 湿法刻蚀

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楼主

发表于 2012-5-2 10:24:37 | 只看该作者回帖奖励

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光刻法做电池电极的时候，SiN的刻蚀常用什么溶液？谢谢！

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2^#

发表于 2012-6-6 16:37:26 | 只看该作者

氢氟酸啊！

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3^#

发表于 2012-11-2 09:41:07 | 只看该作者

光伏发电技术培训[研考班]2018

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是湿法刻蚀，还是光刻啊，湿法刻蚀用的是HF,H2SO4，HNO3、HCL的混合液体

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4^#

发表于 2012-11-8 12:24:15 | 只看该作者

光伏发电技术培训[研考班]2018

光刻什么东西？

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5^#

发表于 2014-1-7 14:02:44 | 只看该作者

氮化硅刻蚀一般使用热磷酸。

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