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标题: PECVD渡膜时为什么老是碎片？ [打印本页]

作者: thc860902 时间: 2008-8-5 20:30
标题: PECVD渡膜时为什么老是碎片？
我们公司用的是德国进口的SINA&ROTH做PECVD渡膜，为什么这段时间石墨框出腔后中间位置的片会破了？而且我们在开腔检查时，发现碎片一般都是预热腔，可是就是不知道是什么原因造成的。有没有哪位高手帮忙解决一下啊？鄙人不胜感激。

作者: zxfcnc 时间: 2008-8-5 21:09
温度应该不是很高，是不是升温的速率太快了

作者: wuliao56 时间: 2008-8-7 13:28
气压过大或传输不稳定都会出现掉片

作者: thc860902 时间: 2008-8-7 20:18
我们今天检查了下石墨框，发现石墨框的底部有破损，成弧形状。我们老大认为是由于这个原因导致石墨框在行进过程中出现低位，使得硅片与角阀盖板的锁紧螺丝碰撞，造成碎片。我想知道这个原因的可能性大吗？

作者: gaohui200533 时间: 2008-11-14 16:34
是不是片子本身有问题啊，比如应力很大的缘故？？？

作者: fengzhixin 时间: 2009-2-24 16:25
受热不均匀或者揍降骤升温都有可能

作者: aogui44 时间: 2009-3-3 23:02
不大做个实验 4# thc860902

作者: haung 时间: 2009-3-12 13:35
是否有Banding的問題???

作者: hanlingsun 时间: 2009-5-13 09:28
我觉得你的老大说的有很大可能，，气压和什么的问题不是很大，，除非真空不好，压力才有问题

作者: solarpower 时间: 2011-3-22 16:10
气流量过大。升温太快。机械故障。

作者: zyb481528 时间: 2011-6-23 08:33
受热不均匀，导致膨胀

作者: zyb481528 时间: 2011-6-23 08:34
预热腔升温快，不稳定

作者: 莫思勿忘 时间: 2011-9-6 03:34
我公司PECVD是深圳捷佳创的，也经常出现碎片，大都是插片没有插好。加上比如升温快，气压大，气流大等等原因。可以以后交流。

作者: wokaoman 时间: 2012-11-4 14:01
是不是石墨框传输时有震动造成的，这种情况也很容易掉片子

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