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标题: 硅片翘曲 [打印本页]

作者: haizhifeng99 时间: 2009-11-12 22:19
标题: 硅片翘曲
硅片出现翘曲到底是哪方面造成的，怎么解决啊，请各位大侠赐教了

作者: z3124349 时间: 2009-11-19 11:29
拉晶或刀片开断，腐蚀定型。

作者: haizhifeng99 时间: 2009-11-25 12:59
和工件夹紧装置有关吗

作者: 516350777 时间: 2009-12-18 08:16
还和切割时的温度有关

作者: bingmaying 时间: 2010-12-12 10:35
和加紧装置有关系。

作者: barton2004 时间: 2010-12-21 11:48
好象要系统地分析一下吧!!!切割过程中的受力\线槽等.

作者: wch090409 时间: 2010-12-22 12:59
硅片的翘曲度是切片加工控制的主要参数。

作者: 小不点 时间: 2011-1-16 14:39
可能跟加紧有关建议上棒前用无尘纸擦下夹紧槽里

作者: 841965584 时间: 2011-2-24 11:19
如果是经常出现这种情况，其他注意的地方都注意了，还是有的话，就需要加固机器的夹紧装置。

作者: jiayuexu 时间: 2011-3-2 13:54
为什么是夹紧机构？
不是上下升降机构？

作者: lzs3041736 时间: 2011-3-22 21:29
翘曲度是切片加工控制的主要参数

作者: dandan 时间: 2011-4-24 21:05
这种问题我遇见过，就是晶棒在切割过程中动了，那就跟夹紧装置没锁紧有关，在上棒的前用无尘纸把夹紧装置仔细擦干净就不会出现这种情况了

作者: hbzlk518 时间: 2011-6-7 11:11
跳槽频繁害人。

作者: hbzlk518 时间: 2011-6-13 15:31
回复 841965584 的帖子

工艺改进需要摸索。

作者: 215618783 时间: 2011-6-21 12:32
让你的员工把夹紧装置擦拭干净在看吧

作者: Wesley____Wu 时间: 2011-11-8 13:04
机械原因造成的和加紧装置有关系

作者: 梦缘 时间: 2012-2-1 22:30
有点道理，就是太片面

作者: heperionz 时间: 2012-4-25 00:12
1，工件板变形了木？
2，工件板安装牢靠了木有？
3，进给打下跳动值

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