阳光工匠光伏论坛
标题:
三氯氢硅合成炉相关问题
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作者:
yjq
时间:
2010-10-27 15:51
标题:
三氯氢硅合成炉相关问题
在三氯氢硅合成中，出炉尾气含氯化氢在40%左右，请问是什么原因，如何改善？
作者:
jsxzjb
时间:
2010-11-29 10:47
与合成炉结构、操作（压差、气速）等因素有关。先清理分布器，调整压差与气速，效果不好就更换合成炉。
作者:
yjq
时间:
2011-8-18 13:20
请问楼上的朋友，出炉尾气含氯化氢在多少合适呢？
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