薄膜厚度的计算方法有哪些

menglongoo · 发表于 2011-4-18 16:58:00

薄膜一般是用膜厚测试仪来进行厚度检测，一般有台阶仪，光学薄膜测厚仪等。台阶仪需要台阶，一般通过贴胶带制作，光学薄膜测厚用的是光的干涉原理，通过消光系数和折射率来进行厚度测算，只能测试透明薄膜，对于绒面的测试不准确，对太薄的薄膜测试也不准确，比如几纳米~

menglongoo · 发表于 2011-8-22 08:42:57

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在dummy上就可以了呀~

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[非晶] 薄膜厚度的计算方法有哪些