[悬赏咨询] 求教高手！！电池片刻蚀后刻蚀边缘内侧有黑边

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楼主

发表于 2011-4-17 09:04:43 | 显示全部楼层回帖奖励

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单晶硅电池片刻蚀后刻蚀边缘内侧有黑边，扩散面和非扩散面的黑边都很明显！但是经过去磷硅玻璃清洗后，就没了。
问技术部的人，解释如下可能是等离子刻蚀机内部太脏；也可能是四氟化炭的输送管道内壁受腐蚀了，原因不明！！
求教高手，有谁知道的帮忙解决下吧十万火急！！

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