求教高手！！电池片刻蚀后刻蚀边缘内侧有黑边

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如果是RENA湿法刻蚀，那是因为刻蚀槽有爬液现象，而且槽中的H2SO4浓度过高导致，解决办法：调小刻蚀槽抽风，适当添加点水，降低H2SO4浓度。

如果是干法刻蚀，检查下石英管卫生情况，夹具有否夹紧等。