求教高手！！电池片刻蚀后刻蚀边缘内侧有黑边

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刻蚀机在每班开始前必须用酒精清洁干净石英管和炉门，还有及时更换四氟化碳送气管道。还有观察辉光颜色，压紧硅片。还有尾气中的HF及时排除。应该可以好点了。如果还不行就应该请设备部门考虑检查真空电子管了。