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[技术交流] 拉晶遇到的问题!求高手!

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发表于 2011-6-19 10:16:19 | 显示全部楼层
储能电站建设培训
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石英坩埚上部分有很多黑色的痕迹,不会蹭着导流筒了吧?
石英坩埚有点变形,而且有两道很明显了痕迹,是提了两跟晶棒?
从黄色挥发物的沉积上来看,不排除抽气、通气不畅通的原因,也不排除氩气太小,膛压过低的可能性。
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