PECVD镀膜后白斑白点问题

ztjy2008 · 发表于 2011-7-30 18:05:32

使用Roth&Rau的PECVD给多晶片镀膜后片子上出现白斑片，有没有可能是PECVD机台的问题？在验证中截取生产一直正常机台的一批片子到出现白斑的这个机台做，结果大部分也有白斑，这是为什么？引起白斑的原因有哪些？难道能确切的说白斑片肯定不会是由PECVD工艺或设备原因引起的吗？

Jerrychow · 发表于 2015-2-11 09:25:01

你有验证白点的成分是什么吗？板P设备维护周期？是湿法刻蚀吗？

yongjin · 发表于 2014-7-29 09:20:21

墨无文殇发表于 2011-8-4 19:55
昨天做了一整天的实验，加了四个小时的班，终于找到了白斑的起始原因了，高浓度的HF会在硅片表面形成F沉淀 ...

高浓度的HF会在硅片表面形成F沉淀，这是造成白斑的主要原因？拿你们怎么解决呢？？？减少HF浓度？

yongjin · 发表于 2014-7-29 09:16:55

机台氮化硅粉尘，建议保持好机台卫生！

wokaoman · 发表于 2012-11-4 14:13:08

应该是去PSG清洗时没洗干净吧

permanentlich · 发表于 2012-6-13 15:19:35

肯定是出在清洗的问题上！

/:Z拯救 · 发表于 2012-5-21 00:02:08

真的从来没注意过F的沉淀明天好好验证下

oxrtalent · 发表于 2012-5-17 17:45:58

呵呵，楼主厉害。

zhaoff2005 · 发表于 2011-9-27 15:21:17

PE白斑多数原因在后清洗工序。

xyd0209 · 发表于 2011-9-14 09:27:48

这种白斑大多都是因为清洗不完全造成的，后清洗如果不注意肉眼很难发现，我遇到很多次了，主要是刻蚀出了问题，酸碱浓度变化了，多排查这方面会有效果的，现在我就很少遇到了……

zhaoff2005 · 发表于 2011-8-26 13:06:53

白斑形成的原因有很多，具体原因具体分析吧。

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