PECVD镀膜后白斑白点问题

墨无文殇 · 发表于 2011-7-31 19:05:52

只看该作者，我对于PECVD镀膜后的白斑有深入的研究，并且现在已经克服了这个难题，我对你很感兴趣，所以，如果你想知道的话，就看你的表现了，还有，要从你从来没有注意到的地方入手，或者说你从来不认为会出问题的地方入手，就可以找到解决问题的关键，没想到，咱竟然是同行！

墨无文殇 · 发表于 2011-7-31 19:13:50

看了一个帖，多晶，无疑是近段时间发展的趋势，所以，多晶白斑是必须要克服的问题

墨无文殇 · 发表于 2011-8-1 23:42:25

不好意思，搞错了一个事情而已，不过，你有什么能够证明非清洗原因导致的镀膜后白斑？清洗机维护？或者是CT管式PECVD镀膜后不出，有两个地方的问题可能你没有注意到，一，清洗机内部长时间造成清洗机内部HF颗粒沉淀，这些HF颗粒在清洗机内表面，甚至都是厚厚的一层了，但是由于与清洗机表面的颜色无异，如果没有仔细的观察，是不i容易看出来的，所以，首先检查你的清洗机内部是不是有白色HF，另一方面，清洗机上料传送带下面是一个死角，你可能根本就没有注意，那下面的脏污，是非常容易造成白斑的，还有，我给你解释为什么只有板式PECVD出而管式pecvd不出，因为板式PECVD只有上载仓和加热仓，然后就直接镀膜，而管式在开始镀膜工艺前会在炉管内部有清洗的工艺步骤，这个步骤，在高温下，会将HF去除，这样，就只会在板式PECVD出，而在管式不出的愿意了

但愿，对你有所帮助

墨无文殇 · 发表于 2011-8-4 19:55:43

昨天做了一整天的实验，加了四个小时的班，终于找到了白斑的起始原因了，高浓度的HF会在硅片表面形成F沉淀，这是造成白斑的主要原因，产生的工序是超净车间高纯清洗，所有实验是我亲自验证，这刻蚀世界性难题啊，就这样被我顽固的攻克了，你很幸运！！

墨无文殇 · 发表于 2011-8-6 18:06:03

是制绒与后清洗之间的清洗，不懂问问其他的工程师，他们懂的

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[技术交流] PECVD镀膜后白斑白点问题

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