PECVD镀膜后白斑白点问题

ztjy2008 · 发表于 2011-7-30 18:05:32

使用Roth&Rau的PECVD给多晶片镀膜后片子上出现白斑片，有没有可能是PECVD机台的问题？在验证中截取生产一直正常机台的一批片子到出现白斑的这个机台做，结果大部分也有白斑，这是为什么？引起白斑的原因有哪些？难道能确切的说白斑片肯定不会是由PECVD工艺或设备原因引起的吗？

ztjy2008 · 发表于 2011-7-30 18:07:39

补充一下：排查中并没发现前道工序有什么问题

ztjy2008 · 发表于 2011-8-1 09:06:38

回复墨无文殇的帖子

不知你是什么意思？请指教。排除了来料片子问题、扩散无问题、也非后清洗，都说镀膜本身不会引起此问题，究竟什么会引起白斑集中出现呢？

ztjy2008 · 发表于 2011-8-3 23:14:01

谢谢指教。白斑个很让人头疼的问题，前面几道工序都可能引起，不过后清洗洗不到，要重点排查后清洗。目前我们管式板式PECVD后，都有白斑出现。

ztjy2008 · 发表于 2011-8-5 09:11:15

回复墨无文殇的帖子

谢谢你的解惑，又让我新学些东西咕~~(╯﹏╰)b，我的工作要负责或者说参与排查所有工序的不良现象，新入这行，偏偏又负责这些疑难复杂的问题，很辛苦。
还有你说的超净车间高纯清洗是什么车间，是制绒这个工序吗，好像一些公司的叫法不一样啊

ztjy2008 · 发表于 2011-8-6 23:01:00

那应该是扩散工序了，制作pn结的

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[技术交流] PECVD镀膜后白斑白点问题