籽晶和肩发白

ct00 · 发表于 2011-7-30 20:36:39

籽晶和肩发白为什么？下面的等晶部分就没用那么严重了，
不知道为什么啊老是拉不成整棒啊

希望各位大侠帮帮忙，

ct00 · 发表于 2011-7-31 09:32:25

氩气流量是2-3，膛压是1.37*10的3次

ct00 · 发表于 2011-7-31 09:33:27

热检验的泄漏率是0.1/min一下啊，

ct00 · 发表于 2011-7-31 09:34:13

高手有没有可能是籽晶的问题啊？？？

ct00 · 发表于 2011-7-31 09:35:46

xiaohe2008 发表于 2011-7-31 09:11
热检漏速多少啊！看上去有点微漏气啊~！请楼主把数据等信息写上！拉不出整棒的问题很多......

上面哪来的油啊？？？

ct00 · 发表于 2011-8-1 09:33:55

哦，请问一下副室操作好了以后是先关副泵再打开翻盖伐，还是先打开翻盖伐在关副室泵啊？

ct00 · 发表于 2011-8-8 17:44:20

什么地方漏气啊？冷测真空是0.7Pa，每10分钟0.01Pa的炉子啊

ct00 · 发表于 2011-9-11 20:37:37

没有副室操作过，一样发白

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[技术交流] 籽晶和肩发白