如何降低三氯氢硅中的碳含量？

yjq · 发表于 2011-8-18 13:22:04

请教大家，如何降低三氯氢硅中的碳含量？

wanfer · 发表于 2012-10-11 07:54:09

控制H2中的甲烷含量和硅粉中的碳含量

yjq · 发表于 2011-11-21 16:42:56

空气纯度？你是不是指取样当中的误差？

︶蔠嚸 · 发表于 2011-11-5 22:26:37

控制空气纯度

bingxuerui · 发表于 2011-10-13 06:50:37

要从多个方面多着手的
比如：原料三氯氢硅、氢气、拆装炉过程中保持洁净、硅芯的质量、管道设备维修以后保证管道内的碳含量

yjq · 发表于 2011-9-14 13:00:36

楼上的朋友，这些方面的碳，怎么减少，说说你们的方法好吗？

蓝眼泪 · 发表于 2011-9-1 08:46:27

另外看看原料气的碳含量怎样。

yjq · 发表于 2011-8-31 11:04:14

是三氯氢硅合成炉之后的氢气回收吧？8楼的朋友，看来，你挺不错，多指点指点。

蓝眼泪 · 发表于 2011-8-31 08:42:46

回复 yjq 的帖子

回收氢会有

yjq · 发表于 2011-8-26 12:30:39

是不是阀门、管道会带入碳？

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[技术交流] 如何降低三氯氢硅中的碳含量？