多晶硅锭性能指标

barton2004 · 发表于 2010-12-29 17:05:27

不知道这个能不能帮你?
P型多晶硅（掺杂硼）主要技术指标
项目指标
Resistivity    电阻率 0.5-3（Ω•cm）
Oxygen content  含氧量 ≤8×1017（atoms/cm3）
Carbon content  含碳量 ≤8×1017（atoms/cm3）
Life time寿命（少数载流子） ≥2（µS）
Dislocation Density位错密度 ≤3000（pos/cm3）
Thickness厚度 200um；180um；170um
TTV <15um

barton2004 · 发表于 2011-11-29 11:51:47

{:soso_e100:}
现在很多指标都要求严了！！！

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[技术交流] 多晶硅锭性能指标

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