PECVD渡膜时为什么老是碎片？

zyb481528 · 发表于 2011-6-23 08:33:40

受热不均匀，导致膨胀

zyb481528 · 发表于 2011-6-23 08:34:51

预热腔升温快，不稳定

莫思勿忘 · 发表于 2011-9-6 03:34:18

我公司PECVD是深圳捷佳创的，也经常出现碎片，大都是插片没有插好。加上比如升温快，气压大，气流大等等原因。可以以后交流。

wokaoman · 发表于 2012-11-4 14:01:13

是不是石墨框传输时有震动造成的，这种情况也很容易掉片子

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[技术交流] PECVD渡膜时为什么老是碎片？