硅片清洗改进

yanghui55315706 · 发表于 2008-12-10 15:31:41

我公司目前硅片清洗时间：HCl酸9min→水3min→HF酸3min→水9min
我想请教一下各位大哥有没有什么很好的改进方案，比如说怎样缩短酸的清洗时间，溶液浓度应该怎样配比。
谢谢啊

hbzlk518 · 发表于 2011-6-13 15:27:19

清洗剂也是鱼龙混杂。

qq119723202 · 发表于 2011-5-29 13:48:43

楼上的说的对，用专用的清洗剂就行啦，用2个曹，每个曹2000毫升，7个曹一共洗14分钟

lanhaizhimeng · 发表于 2011-3-1 14:40:48

这个东西好像每个公司都是不同的啊

bingmaying · 发表于 2010-12-12 10:21:20

我们用的是专门的清洗剂，还不错

yzyyl · 发表于 2009-6-6 09:50:40

你们为什么不用配好的硅片专用清洗剂呢

haizhifeng99 · 发表于 2009-5-24 15:01:23

你们那用的那里的清、洗机

johnson · 发表于 2009-2-1 21:28:39

请吿诉工序，不同工序不一样

happy99 · 发表于 2009-1-9 14:49:30

不容易搞到

yiyi · 发表于 2008-12-19 10:22:28

没有酸的浓度有什么用啊????????????

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