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[非晶] PECVD Unif_Flowchart

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楼主
发表于 2012-7-10 19:38:04 | 只看该作者 |只看大图 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
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PECVD的资料


PECVDUnif_Flowchart.rar

86.33 KB, 下载次数: 1

2#
发表于 2012-11-5 17:19:29 | 只看该作者
是关于气体流量和均匀性关系的吗
3#
发表于 2012-12-18 08:44:28 | 只看该作者
CVD沉积过程?~
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