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[技术交流] 单晶炉和多晶炉压力控制

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楼主

发表于 2009-2-3 11:54:39 | 只看该作者回帖奖励

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光伏发电技术培训[研考班]2018

请教单晶炉和多晶炉在不同阶段的压力控制要求

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2^#

发表于 2010-7-14 11:24:11 | 只看该作者

这个要看炉况的吧啊。。。。

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3^#

发表于 2010-12-21 11:36:08 | 只看该作者

光伏发电技术培训[研考班]2018

不同的,因为晶体生长原理不一样.依具体的工艺参数设置.

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4^#

发表于 2010-12-22 17:28:30 | 只看该作者

光伏发电技术培训[研考班]2018

单晶炉一般设定在20Torr

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5^#

发表于 2011-5-20 14:33:36 | 只看该作者

20Torr，这么高啊。
一般太阳能硅单晶用不了那么高的。

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6^#

发表于 2011-5-20 15:37:00 | 只看该作者

那大概多少啊

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7^#

发表于 2011-8-24 09:08:09 | 只看该作者

国产单晶炉正常1600帕现在，主要看工艺要求

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8^#

发表于 2012-1-13 22:34:04 | 只看该作者

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这么高的压力吗？多晶硅貌似不需要把？

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