单晶硅棒切成片后，片上有些有孔洞，那位知道这些形成的原因

mornred · 发表于 2011-4-26 14:23:31

拉速过快,大量的空穴聚集,形成气孔;另外有一种可能是熔硅内有气,生长时包杂在里面,

long865414 · 发表于 2011-8-21 07:12:41

你说的是穿孔吧，这个主要是拉晶过程中产生的一氧化硅气泡进入到晶体生长界面，然后继续生长使气泡进入到晶体中间所形成的

wangzhichaocom · 发表于 2011-8-30 10:03:48

拉速太快有可能哈哈

jzhq521 · 发表于 2011-9-16 13:08:26

气孔片拉晶产生的多集中于头部主要是拉速波动太大和转肩拉速过高产生
还有一种情况是在片检过程中pvc的用法不过关，是手上的汗液也硅片接触腐蚀而成
但楼主家的情况很明显是第一种！、

央夜未舞 · 发表于 2012-1-13 22:33:06

气孔是怎么形成的啊？

SAD1375733 · 发表于 2012-3-7 17:14:33

拉速过高或坩埚有气泡

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[技术交流] 单晶硅棒切成片后，片上有些有孔洞，那位知道这些形成的原因