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[技术交流] 三氯氢硅合成炉相关问题

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楼主

发表于 2010-10-27 15:51:28 | 只看该作者回帖奖励

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在三氯氢硅合成中，出炉尾气含氯化氢在40%左右，请问是什么原因，如何改善？

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2^#

发表于 2010-11-29 10:47:48 | 只看该作者

与合成炉结构、操作（压差、气速）等因素有关。先清理分布器，调整压差与气速，效果不好就更换合成炉。

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3^#

楼主| 发表于 2011-8-18 13:20:38 | 只看该作者

光伏发电技术培训[研考班]2018

请问楼上的朋友，出炉尾气含氯化氢在多少合适呢？

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