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[技术交流] 三氯氢硅合成炉相关问题

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楼主

发表于 2010-10-27 15:51:28 | 显示全部楼层回帖奖励

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在三氯氢硅合成中，出炉尾气含氯化氢在40%左右，请问是什么原因，如何改善？

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2^#

楼主| 发表于 2011-8-18 13:20:38 | 显示全部楼层

请问楼上的朋友，出炉尾气含氯化氢在多少合适呢？

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