yjq
发表于 2011-8-18 13:22:04
如何降低三氯氢硅中的碳含量？
请教大家，如何降低三氯氢硅中的碳含量？
mornred
发表于 2011-8-19 11:36:34
得从金属硅的生产抓起
yjq
发表于 2011-8-21 09:05:13
金属硅是一个方面，其它有影响吗？
mornred
发表于 2011-8-21 12:24:36
氢气\氯气里的碳也得控制
yjq
发表于 2011-8-22 15:01:32
氢气里有碳吗？怎么没听说过？如果有，怎么处理呢？麻烦4楼的朋友指教
蓝眼泪
发表于 2011-8-24 09:00:12
ls用PSA{:3_53:}
yjq
发表于 2011-8-26 12:30:39
是不是阀门、管道会带入碳？
蓝眼泪
发表于 2011-8-31 08:42:46
回复 yjq 的帖子
回收氢会有
yjq
发表于 2011-8-31 11:04:14
是三氯氢硅合成炉之后的氢气回收吧？8楼的朋友，看来，你挺不错，多指点指点。
蓝眼泪
发表于 2011-9-1 08:46:27
另外看看原料气的碳含量怎样。
